普通表面或多孔材料對氣體的物理吸附或吸收可用于獲得高真空。 吸附或吸收技術可以在任何壓力下使用，但是由于實際的限制，它只是作為真空技術中的一種特殊應用而開發的。

  為了消除由油封機械橡膠葉輪產生的碳氫化合物污染的可能性，橡膠葉輪通常用于超高真空系統的粗抽，并且通常與干（無油）機械橡膠葉輪一起使用。 根據泵送程序順序使用兩個或三個橡膠葉輪，以從真空容器中排出大量空氣。 通過改用離子吸氣型橡膠葉輪泵，可獲得足夠低的壓力而不會造成過載。

  可以通過吸附獲得高真空。 該方法可以是通過升高溫度使吸附的氣體物質解吸，然后恢復到室溫，或者可以將其冷卻至低溫。

  商業橡膠葉輪通常設計為獲得前級真空。 但是，使用具有類似基本結構的橡膠葉輪的多級泵送也可以實現高真空，但入口電導率更高。

  密封設備通常在高溫條件下通風和密封。 在冷卻期間，吸附部位的數量足夠大，以提供能夠顯著降低壓力的泵送效果，從而可以將壓力降低一個或幾個數量級。 許多例子表明，當溫度變化大時，在高真空下必須具有吸附作用。